高密度氮化硅陶瓷选用哪种烧结方式最好（）。

A、常压烧结

B、热压烧结

C、反应烧结

D、气氛烧结

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• 高密度氮化硅陶瓷选用哪种烧结方式最好（）。

  A、常压烧结

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• 氮化硅的晶型及特点：α-Si3N4低温型（1400—1600℃）（），硬度高，不稳定；β-Si3N4高温型：长柱状或斜状晶体，韧性强。

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• LPCVD多晶硅和氮化硅等薄膜易形成保形覆盖，在低温APCVD中，非保形覆盖一般比较常见。

  A、对

  B、错

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