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某公司拟在工业园区建设一电子元器件生产企业A厂,电子元器件生产以硅片为基础,经氨水清洗,氨氟酸/硫酸蚀刻、砷化氢掺杂、硫酸铜化学镀等工序得到产品。其中掺杂工艺和化学镀工序流程见图5。
[JZ427_95.gif]
生产过程中产生的清洗废水、蚀刻废水、尾气洗涤塔废水、化学镀废水经预处理后最终进中和池,最终中和池出水排入园区污水处理厂。废水预处理后的情况见表5。园区污水处理厂处理能力为5.0×10[~4.gif]m[~3.gif]/d,目前实际处理量为3.3×10[~4.gif]m[~3.gif]/d,接管水质要求为COD 350mg/L、NH[3-.gif]N 25mg/L、TP 6mg/L,其他指标需达到《污水综合排放标准》(GB 8978-1996)中表1及表4三级排放标准(氟化物20m/L、Cu 2.0mg/L、As 0.5mg/L)。
氨水清洗工序产生的清洗废水中氨含量为0.02%,为降低废水中氨浓度,拟采取热交换吹脱法除氨,氨的吹脱效率为80%,吹脱出的氨经15m高排气筒排放(GB14554-93规定,15m高排气筒氨排放限值为4.9kg/h)。
[JZ427_96.gif]
问题
1.给出掺杂工序和化学镀工序废水、废气特征污染因子。
2.根据项目废水预处理情况,判别A厂废水能否纳入园区污水处理厂,说明理由。
3.列出掺杂工序、化学镀工序废水预处理产生的污泥处置要求。
4.评价本工程采用的热交换吹脱法除氨废气排放达标情况。给出废气排放的控制措施。

相关标签: 化学镀  

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