微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
A、a.离子束刻蚀、激光刻蚀
B、b.干法刻蚀、湿法刻蚀
C、c.溅射加工、直写加工
以下哪些热处理工艺不属于高能束热处理（)。A.激光热处理B.电子束热处理C.离子束热处理D.真空热处理
