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GC-MS质量分析器是利用电磁或磁场(包括磁场、磁场与电场组合、高频电场和高频脉冲电场等)的作用,将来自离子源的离子束中不同()的离子按()或()或运动轨道稳定与否等形式分离的装置。
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入侵检测系统的CIDF模型基本构成()。
A、事件产生器、事件分析器、事件数据库和响应单元
B、事件产生器、事件分析器、事件数据库
C、异常记录、事件分析器、事件数据库和响应单元
D、规则处理引擎、异常记录、事件数据库和响应单元
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()需要使用工具,并能将工具型面的形状“复印”到工件上。
A、离子束加工
B、电火花加工
C、电解加工
D、激光加工
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离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片,会导致光刻材料的阴影效应,阻碍离子束的注入。
A、对
B、错
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下列四个选项中,哪个是离子束加工所具有的特点()。
A、加工中无机械应力和损伤
B、通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能,使工件表面熔化而去除工件材料
C、工件表面层不产生热量,但有氧化现象
D、需要将工件接正电位(相对于离子源)